小黄片下载软件盤在製作過程會遇到什麽問題？

      在外延生長範疇，高純小黄片下载软件盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導體晶圓的效果。現在，主流外延設備廠商配套的小黄片下载软件盤在結構上根本相同，均選用在小黄片下载软件盤基座上規劃一個晶圓形狀的淺凹槽的方法來裝載晶圓。這種規劃在生長小標準的晶圓(比如說4寸半導體晶圓)來說是合理的，保護起來也很便利。但對於生長大標準的外延片，基於下降晶圓被旋轉的小黄片下载软件盤甩出的風險，晶圓槽底部相對於小黄片下载软件盤頂部的高度比小標準小黄片下载软件盤大一些。
這種規劃導致了生長大標準外延片尤其是厚膜外延片出現了以下幾個問題：
      1.由於小黄片下载软件盤與晶圓觸摸區域較多，在生長厚膜外延片時，沉積的外延層會添加小黄片下载软件盤與半導體晶圓的粘接，使得生長完成後將外延片從小黄片下载软件盤中無損傷取出較為困難，乃至可能導致裂片。
      2.因晶圓邊沿處較高的台階使得該區域存在氣體湍流，簡單停留較多的生長氣體，然後使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差。
      3.因外延爐一般選用射頻感應加熱，熱量傳遞的方向是沿著小黄片下载软件盤徑向從邊沿到中心，使得小黄片下载软件盤邊沿的溫度高於中心區域的溫度，這在大標準外延生長中尤為傑出。